化工程是通过控制空气微粒浓度、温湿度、压力等参数来创造洁净环境的技术体系。其核心技术包括三级过滤系统(初效、中效、HEPA/ULPA)、气流组织设计(单向流/非单向流)以及压差控制。现代万搏官方网站车间普遍采用FFU(风机过滤单元)模块化结构,配合PLC自动控制系统,可实现ISO 14644-1标准下的5级(百级)至8级(十万级)洁净度。值得注意的是,分子级污染的防控技术如化学过滤器、VOCs处理装置正成为半导体行业的新需求。
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